Обзор современных методов формирования потоков частиц при нанесении вакуумных покрытий
Bibliographic entry
Мисник, И. В. Обзор современных методов формирования потоков частиц при нанесении вакуумных покрытий / И. В. Мисник, И. А. Иванов // Проблемы инженерно-педагогического образования в Республике Беларусь : материалы VI Международной научно-практической конференции, 29-30 ноября 2012 г. : в 2 ч. / редкол.: Б. М. Хрусталев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – Ч. 2. – С. 122-128.