Исследование напряжений в вакуумно-плазменных покрытиях
Bibliographic entry
Иващенко, С. А. Исследование напряжений в вакуумно-плазменных покрытиях / С. А. Иващенко, С. Г. Койда // Проблемы инженерно-педагогического образования в Республике Беларусь : материалы V Международной научно-практической конференции, 24-25 ноября 2011 г. : в 2 ч. / редкол.: Б. М. Хрусталев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – Ч. 1. – С. 43-46.
Abstract
Напряжения, возникающие при осаждении тонкопленочных покрытий, оказывают существенное влияние на эксплуатационные свойства системы подложка-покрытие. В ряде случаев внутренние напряжения могут привести к растрескиванию и отслаиванию покрытий, ухудшению их антифрикционных, корозионных, декоративных и некоторых других свойств.