Методика исправления недопустимых прозрачных дефектов топологии фотошаблонов / В. А. Круковский, А. И. Воронцов, В. А. Юдицкий, Р. В. Федорцев // Новые направления развития приборостроения : материалы 18-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 23-25 апреля 2025 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ...