Приводится описание существующих методов автоматического контроля топологии планарных структур изделий микро- и наноэлектроники, других изделий электронной техники, дается их классификация. На основании анализа факторов, влияющих на принятие решения о выборе метода контроля топологии, определяется алгоритм выбора метода в зависимости от характеристик контролируемого объекта и ...

В работе рассмотрена параметризация программируемых пространственных перемещений по заданной кривой, на основании которой выполнено решение дифференциальных системы траекторного состояния, определены в управляющие функции.