Формирование пленок оксида гафния-циркония методом реактивного магнетронного распыления комбинированной мишени / Х. Т. Доан [и др.] ; науч. рук.: Д. А. Голосов, С. М. Завадский // Интеллектуальные, сенсорные и мехатронные системы-2021 [Электронный ресурс] : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций) / Белорусский национальный технический ...