Определение величины зазора зонд-образец в измерительной системе на основе зонда Кельвина может осуществляться оптическими методами с использованием независимого волоконно-оптического датчика либо электрическими методами на основе анализа особенностей самого измерительного сигнала. Основным преимуществом электрических методов контроля зазора зонд-образец является независимость ...