В работе проведено исследование электрофизических свойств покрытий Ti1-xAlxCuN, осажденных на кремнии и SiO2 методом реактивного магнетронного распыления из композитных мишеней с различным соотношением Al/Ti. Структура и компонентный состав пленок исследовались методами сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (ЭДРС). Электрофизические ...