Приведены результаты исследований в области разработки методических основ создания адаптивной системы управления приводными системами прецизионного оборудования микроэлектроники на примере автомата ОАО «Планар» для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы. Для повышения производительности и увеличения стойкости алмазного режущего диска предложено использование при ...