Приведены результаты исследования границы раздела алюминий-поликремний после воздействия длительного и быстрого термических отжигов методом энергодисперсионного рентгеновского микроанализа. Установлено, что при термическом отжиге (450 оС, 20 мин) поликремний полностью растворяется в алюминии с последующей его сегрегацией в виде отдельных агломератов в пленке алюминия. При быстром ...

Метод вторично-ионной масс-спектрометрии является одним из основных методов по изучению элементного, химического и изотопного состава вещества. Благодаря своей высокой чувствительности он нашел широкое применение в микроэлектронике по изучению диффузионных явлений в тонких (от 1 нм) пленках полупроводниковых изделий. Данный метод позволяет определять концентацию легирующей примеси, ...

Энергодисперсионный рентгеновский микроанализ является одним из основных методов по определению элементного состава вещества. Обладая высокой локальностью и относительно малой глубиной проникновения электронного луча (< 1 мкм), данный метод нашёл широкое применение в области микроэлектроники, как основной метод анализа элементного состава вещества. Метод позволяет исследовать ...