Browsing by Author "Васильев, Ю. Б."
Now showing items 1-1 of 1
-
Создание геттера в кремнии методом имплантации сурьмы и параметры полупроводниковых приборов
Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р.; Оджаев, В. Б.; Турцевич, А. С.; Васильев, Ю. Б. (БНТУ, 2013)Создание геттера в кремнии методом имплантации сурьмы и параметры полупроводниковых приборов / П. К. Садовский, А. Р. Челядинский, В. Б. Оджаев [и др.] // Приборостроение-2013 : материалы 6-й Международной научно-технической конференции (20–22 ноября 2013 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. кол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 357-359.2025-06-12