Мультисенсорная микросистема повышенной эффективности контроля газовой среды на основе подложек из кремния и пористого оксида алюминия
Loading...
Authors
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.11.01 – Приборы и методы измерения
Abstract
На современном этапе развития техники одним из актуальных направлений приборостроения является разработка приборов и методов измерения концентрации газов и определения химического состава воздуха в окружающей среде, обеспечение безопасности на ранней стадии возгорания в жилищно-коммунальном хозяйстве и на производстве.
Настоящая диссертационная работа посвящена разработке мультисенсорных микросистем на основе подложек из кремния и пористого оксида алюминия, исследованию характеристик и методов измерения сенсорного отклика, обеспечивающих надежный и эффективный контроль состава газовой среды при микромощном энергопотреблении.
item.page.description-other
Description
Citation
Реутская О. Г. Мультисенсорная микросистема повышенной эффективности контроля газовой среды на основе подложек из кремния и пористого оксида алюминия : автореферат диссертации ... канд. техн. наук : 05.11.01 / Ольга Геннадьевна Реутская; Белорусский национальный технический университет. - Минск, 2018. - 21 с.