Исследование микроструктуры и шероховатости поверхности полированных кремниевых пластин (0 100 мм)
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
item.page.description-other
Description
Citation
Якубовская, С. В. Исследование микроструктуры и шероховатости поверхности полированных кремниевых пластин (0 100 мм) / С. В. Якубовская, С. Ю. Бабаскина, А. А. Корбит // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 437-438.