Технологические варианты получения катодов-мишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно-плазменных источников
Loading...
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
item.page.description-other
Description
Citation
Технологические варианты получения катодов-мишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / редкол.: И. А. Иванов (гл. ред) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – Вып. 39. – С. 107-111.