Комплексные исследования тонкопленочных систем на основе Fe-Si при отжиге в плазме
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Баган, Н. П. | ru |
| dc.contributor.author | Венскевич, Н. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Козуля, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Лапицкая, В. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-12-28T10:51:52Z | |
| dc.date.available | 2022-12-28T10:51:52Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.description.abstract | Представлены результаты комплексных исследований методами электронографии и атомносиловой микроскопии тонкопленочных систем на основе железа и кремния при отжиге в плазме дугового разряда. Определены оптимальные режимы обработки для формирования пленок дисилицида железа ß- модификации. | ru |
| dc.identifier.citation | Комплексные исследования тонкопленочных систем на основе Fe-Si при отжиге в плазме = Complex investigations of thin-film systems based on Fe-Si by plasma annealing / Е. Н. Щербакова [и др.] // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 465-466. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/124672 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Комплексные исследования тонкопленочных систем на основе Fe-Si при отжиге в плазме | ru |
| dc.title.alternative | Complex investigations of thin-film systems based on Fe-Si by plasma annealing | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | The results of complex studies using electronography and atomic force microscopy of thin-film systems based on iron and silicon during treatment in an arc discharge plasma are presented. Optimal treatment modes for the formation of thin films of iron disilicide of beta modification have been determined. | ru |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1