Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрических подложках из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Использование подложек из наноструктурированного оксида алюминия позволяет формировать газовые микросистемы на одном кристалле, сохраняя размеры одиночного сенсора, а также снизить потребляемую мощность и обеспечить долговременную работоспособность микросистем.
item.page.description-other
Description
Citation
Захлебаева, А. И. Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках / А. И. Захлебаева, Г. Г. Горох, О. Г. Реутская // V Всероссийский конгресс молодых ученых : материалы конгресса, (Санкт-Петербург, 12-15 апреля 2016 г.) : в 2 т. – Санкт-Петербург, 2016. – Т. 2. – С. 252-257.