Влияние состава рабочего газа на характеристики фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучков
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Influence of working gas composition on the characteristics of fluorocarbon coatings obtained by direct deposition from ion beams
Abstract
Исследовано влияние парциального давления хладона-218 на свойства фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучков. В результате проведенных исследований определен оптимальный диапазон давления хладона-218 (7,98?10–2–1,06?10–1) для формирования покрытий с оптической прозрачностью до 83 %, углом смачивания до 75 градусов и шириной запрещенной зоны около 2,8 эВ.
item.page.description-other
The influence of the partial pressure of freon-218 on the properties of fluorocarbon coatings obtained by direct deposition from ion beams has been studied. As a result of the research, the optimal pressure range of freon-218 (7,98?10–2–1,06?10–1) was determined for the formation of coatings with optical transparency of up to 83 %, a contact angle of up to 75 degrees and a band gap of about 2,8 eV.
Description
Citation
Влияние состава рабочего газа на характеристики фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучков = Influence of working gas composition on the characteristics of fluorocarbon coatings obtained by direct deposition from ion beams / Е. В. Телеш, Е. В. Шевчик, Е. Г. Курбако, Е. Ю. Перепечко // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 278-280.