Влияние состава рабочего газа на характеристики плёнок SiO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением
Loading...
Files
Authors
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
item.page.description-other
Description
Citation
Некрасов, П. В. Влияние состава рабочего газа на характеристики плёнок SiO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением / П. В. Некрасов, Е. В. Телеш // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 175.