Влияние плотности мощности лазерного излучения на удельное сопротивление эпитаксиальных структур кремния

Simple item page
dc.contributor.authorБоярщонок, Е. В.
dc.contributor.authorШадурская, Л. И.
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2018-08-04T11:25:49Z
dc.date.available2018-08-04T11:25:49Z
dc.date.issued2018
dc.identifier.citationБоярщонок, Е. В. Влияние плотности мощности лазерного излучения на удельное сопротивление эпитаксиальных структур кремния / Е. В. Боярщонок, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 16.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/45756
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleВлияние плотности мощности лазерного излучения на удельное сопротивление эпитаксиальных структур кремнияru
dc.typeWorking Paperru

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
16.pdf
Size:
766.65 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download

Collections

Материалы конференции по статьям