Влияние режимов реактивного магнетронного распыления на оптические характеристики покрытий бинарных нитридов TiCrN, TiSiN, TiAlN

Simple item page
dc.contributor.authorБелявский, Д. С.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2014-09-19T07:55:05Z
dc.date.available2014-09-19T07:55:05Z
dc.date.issued2014
dc.identifier.citationБелявский, Д. С. Влияние режимов реактивного магнетронного распыления на оптические характеристики покрытий бинарных нитридов TiCrN, TiSiN, TiAlN / Д. С. Белявский // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 255.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/9366
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleВлияние режимов реактивного магнетронного распыления на оптические характеристики покрытий бинарных нитридов TiCrN, TiSiN, TiAlNru
dc.typeWorking Paperru

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
255.pdf
Size:
83.33 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download

Collections

Материалы конференции по статьям