Методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
Представлена методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий. Исследовано влияние нагрева оптических деталей на воспроизводимость оптической толщины многослойных узкополосных фильтров второго порядка на основе окислов циркония и кремния, получаемых на вакуумных установках моделей ВУ-800, ВУ-2М и ВУ-1А. Предложено для более точной количественной оценки воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий, кроме величины относительного стандартного отклонения, экспериментально определять величину доверительной вероятности.
item.page.description-other
Description
Citation
Методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий / А. П. Достанко [и др.] // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия В. Прикладные науки. Промышленность. - 2013. - № 11. - С. 2-5.