Современные методы улучшения показателя равномерности толщины вакуумных покрытий
| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Ралло, Ф. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-03-24T10:45:37Z | |
| dc.date.available | 2023-03-24T10:45:37Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.description.abstract | В данной статье рассматривается возможность повышения равномерности толщины формируемых покрытий вакуумными методами путем оптимизации конструкции вакуумной установки и технологических параметров процесса. | ru |
| dc.identifier.citation | Ралло, Ф. Н. Современные методы улучшения показателя равномерности толщины вакуумных покрытий / Ф. Н. Ралло ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25 ноября 2022 г.) : в 2 ч. / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 111-114. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/126829 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Современные методы улучшения показателя равномерности толщины вакуумных покрытий | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1