Моделирование кинематики процесса магнитно-абразивного полирования кремниевых пластин
| dc.contributor.author | Хомич, Н. С. | ru |
| dc.contributor.author | Луговик, А. Ю. | ru |
| dc.contributor.author | Федорцев, Р. В. | ru |
| dc.contributor.author | Корзун, А. Е. | ru |
| dc.contributor.author | Кухто, П. В. | ru |
| dc.date.accessioned | 2012-04-11T10:55:28Z | |
| dc.date.available | 2012-04-11T10:55:28Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Моделирование кинематики процесса магнитно-абразивного полирования кремниевых пластин / Н. С. Хомич [и др.] // Вестник Белорусского национального технического университета : научно-технический журнал. – 2009. – № 1. – С. 32-38. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/2220 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Моделирование кинематики процесса магнитно-абразивного полирования кремниевых пластин | ru |
| dc.type | Article | ru |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1
Loading...
- Name:
- 32-38.pdf
- Size:
- 415.92 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Статья