Техника наноконтроля

Abstract

В данном издании приведено продолжение описания лабораторных работ по курсу «Техника наноконтроля» в соответствии с учебной программой для студентов старших курсов, обучающихся по специальности: 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники», 1-38 01 04 01 «Микросистемная техника», 1-38 01 04 02 «Наноэлектромеханические системы и машины», 1-38 01 04 03 «Сенсорные микросистемы». Вторая часть охватывает калибровку атомно-силового микроскопа, измерение высоты топологических слоев субмикронных интегральных микросхем и определение локального модуля упругости тонких слоев материала. Часть 1 вышла в свет в 2009 г. в БНТУ.