Исследования по подбору материала и условий анодирования при изготовлении алюминиевых оснований с диэлектрическим слоем анодного Al2O3 для изделий микро- и наноэлектроники
Loading...
Files
Authors
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
item.page.description-other
Description
Citation
Литвинович, Г. В. Исследования по подбору материала и условий анодирования при изготовлении алюминиевых оснований с диэлектрическим слоем анодного Al2O3 для изделий микро- и наноэлектроники / Г. В. Литвинович // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 342-344.