Контроль качества подложек из сплава алюминия неразрушающим методом контактной разности потенциалов

Abstract

В статье представлены результаты сравнительного исследования качества подложек из сплава АМГ-2, в том числе после обработки поверхностей алмазным наноточением. Неразрушающий контроль параметров поверхности реализован путем регистрации распределения работы выхода электрона (РВЭ) по контактной разности потенциалов с обработкой микропроцессорным измерительным преобразователем электростатических потенциалов. Соответствующее изменение РВЭ характеризует физико-химические и механические параметры поверхности подложек. Анализ значений РВЭ и их изменений по поверхности указывает на шероховатость, наличие различного типа и природы дефектов. В результате контролируется соответствие заданных эксплуатационных характеристик исходных подложек и оптимизируются технологические режимы обработки применительно к функциональным назначениям создаваемых приборов и устройств.