Разработка высоковакуумной системы на базе диффузионного насоса для нанесения тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления

Thumbnail Image

Files

BNTU-IPF-2019-10904114-Yanchik Aleksandr Dmitrievich.pdf (1.14 MB)

Authors

item.page.other-contributor

item.page.advisors

item.page.editors

Date

2019

Publisher

item.page.issn

item.page.isbn

item.page.depon

item.page.diss

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

item.page.title-alternative

Abstract

item.page.description-other

Description

Citation

URI

https://rep.bntu.by/handle/data/51963

Collections

Вакуумная и компрессорная техника

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By