Влияние отжига на кристаллическую структуру поверхности кремния, легированного ионами CO
| dc.contributor.author | Эгамбердиев, Б. Э. | ru |
| dc.contributor.author | Исроилов, Ф. М. | ru |
| dc.contributor.author | Рахимова, Н. М. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2024-04-23T07:21:27Z | |
| dc.date.available | 2024-04-23T07:21:27Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | Эгамбердиев, Б. Э. Влияние отжига на кристаллическую структуру поверхности кремния, легированного ионами CO / Б. Э. Эгамбердиев, Ф. М. Исроилов, Н. М. Рахимова // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова ; Белорусский национальный технический университет ; Белорусско-узбекский совместный межотраслевой институт прикладных технических квалификаций в городе Ташкент ; Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека ; ред. А. М. Хусейнов. – Ташкент : Университет, 2022. – С. 375-379. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/142085 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние отжига на кристаллическую структуру поверхности кремния, легированного ионами CO | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1