| dc.identifier.citation | Тихон, О. И. Исследование влияния площади кремниевых пластин на процесс плазмообразования в СВЧ плазмотроне резонаторного типа / О. И. Тихон ; науч. рук. С. И. Мадвейко // Интеллектуальные, сенсорные и мехатронные системы-2021 [Электронный ресурс] : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций) / Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Интеллектуальные и мехатронные системы" ; редкол.: В. М. Зайцев, В. А. Гулай, А. В. Подгорная ; сост. А. В. Подгорная. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 69-70. | ru |
