Радиоволновый эллипсометр

dc.contributor.author	Пунько, Н. Н.
dc.contributor.author	Караваев, М. Г.
dc.contributor.author	Анищенко, А. Н.
dc.contributor.author	Смоляков, С. Л.
dc.date.accessioned	2021-06-02T11:53:55Z
dc.date.available	2021-06-02T11:53:55Z
dc.date.issued	1993
dc.identifier.citation	Радиоволновый эллипсометр : а. с. 1830479 СССР : МПК5 G01N22/00 / Н. Н. Пунько [и др.] ; заявитель Белорусский политехнический институт ; дата публ.: 30.07.1993.	ru
dc.identifier.other	1830479
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/93915
dc.language.iso	ru	ru
dc.title	Радиоволновый эллипсометр	ru
dc.title.alternative	А. с. 1830479 СССР	ru
dc.type	Patent	ru