Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Францкевич, А. В."
Now showing items 1-1 of 1
-
Формирование системы вертикальных нанотрубок состава Si2,O2 в кремниевой пластине, посредством имплантации гелия и обработкой плазмой кислорода
Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Шеденков, С. И. (БНТУ, 2009)Францкевич, Н. В. Формирование системы вертикальных нанотрубок состава Si2,O2 в кремниевой пластине, посредством имплантации гелия и обработкой плазмой кислорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Седьмой международной научно-технической конференции : в 3 т. / Белорусский национальный технический ...2021-10-05