Управление электрическими параметрами алмазных термочувствительных структур с помощью ионной имплантации и отжига
| dc.contributor.author | Казючиц, Н. М. | ru |
| dc.contributor.author | Русецкий, М. С. | ru |
| dc.contributor.author | Наумчик, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Мартинович, В. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-05-26T10:54:47Z | |
| dc.date.available | 2021-05-26T10:54:47Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Управление электрическими параметрами алмазных термочувствительных структур с помощью ионной имплантации и отжига / Н. М. Казючиц [и др.] // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Десятой международной научно-технической конференции : в 4 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2012. – Т. 3. – С. 357. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/93278 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Управление электрическими параметрами алмазных термочувствительных структур с помощью ионной имплантации и отжига | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
