Show simple item record

dc.contributor.authorШелухин, К. А.ru
dc.contributor.authorКозлова, Т. А.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2014-09-18T08:19:44Z
dc.date.available2014-09-18T08:19:44Z
dc.date.issued2014
dc.identifier.citationШелухин, К. А. Изготовление микро- и нано-структур методом глубокой рентгеновской литографии / К. А. Шелухин, Т. А. Козлова // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 201.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/9308
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleИзготовление микро- и нано-структур методом глубокой рентгеновской литографииru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record