Show simple item record

dc.contributor.authorВаравко, С. С.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2014-09-16T08:06:17Z
dc.date.available2014-09-16T08:06:17Z
dc.date.issued2014
dc.identifier.citationВаравко, С. С. Совершенствование технологии химико-механического полирования в производстве кремниевых пластин / С. С. Варавко // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 168.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/9241
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleСовершенствование технологии химико-механического полирования в производстве кремниевых пластинru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record