Способ изготовления мишени для магнетронного распыления

dc.contributor.author	Степаненко, А. В.
dc.contributor.author	Любимов, В. И.
dc.contributor.author	Пилипенко, В. И.
dc.contributor.author	Татаринский, В. М.
dc.contributor.author	Варавин, В. А.
dc.contributor.author	Хлебцевич, В. А.
dc.date.accessioned	2021-05-12T08:09:52Z
dc.date.available	2021-05-12T08:09:52Z
dc.date.issued	1993
dc.identifier.citation	Способ изготовления мишени для магнетронного распыления : а. с. 1785808 СССР : МПК5 B22F3/02 / А. В. Степаненко [и др.] ; заявитель Белорусский политехнический институт ; дата публ.: 07.01.1993.	ru
dc.identifier.other	1785808
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/91481
dc.language.iso	ru	ru
dc.title	Способ изготовления мишени для магнетронного распыления	ru
dc.title.alternative	А. с. 1785808 СССР	ru
dc.type	Patent	ru