| dc.identifier.citation | Щербаков, И. А. Особенности современных систем контроля чистых помещений / И. А. Щербаков, Ю. Г. Мережаный // Новые направления развития приборостроения : материалы 4-й Международной студенческой научно-технической конференции, 20-22 апреля 2011 г. : конференция посвящается 90-летию Белорусского национального технического университета (БПИ - БГПА - БНТУ) / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – Т. 1. – С. 97. | ru |
