| dc.identifier.citation | Евстафьева, М. В. Нанесение пленок оксида кремния методом реактивного ионно-лучевого распыления / М. В. Евстафьева // Новые направления развития приборостроения : материалы 4-й Международной студенческой научно-технической конференции, 20-22 апреля 2011 г. : конференция посвящается 90-летию Белорусского национального технического университета (БПИ - БГПА - БНТУ) / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – Т. 1. – С. 199. | ru |
