Расчет диффузии примесей в кремнии

dc.contributor.author	Бондарев, В. А.
dc.coverage.spatial	Минск	ru
dc.date.accessioned	2021-03-04T08:48:34Z
dc.date.available	2021-03-04T08:48:34Z
dc.date.issued	2004
dc.identifier.citation	Бондарев, В. А. Расчет диффузии примесей в кремнии / В. А. Бондарев // Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ. Энергетика. – 2004. – № 4. – С. 45-51.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/88024
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БНТУ	ru
dc.title	Расчет диффузии примесей в кремнии	ru
dc.type	Article	ru