Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Фам, В. Т. | ru |
| dc.contributor.author | Петухов, И. Б. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-02-09T08:18:41Z | |
| dc.date.available | 2021-02-09T08:18:41Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением / В. Л. Ланин, В. Т. Фам, И. Б. Петухов // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 387-388. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/86880 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
