Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801»
| dc.contributor.author | Соловьёв, Я. А. | ru |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Яковлев, В. П. | ru |
| dc.contributor.author | Хлопков, Н. С. | ru |
| dc.contributor.author | Гринцевич, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Сарычев, О. Э. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-02-09T08:18:37Z | |
| dc.date.available | 2021-02-09T08:18:37Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» / Я. А. Соловьёв [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 313-315. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/86839 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
