Магнетронный метод осаждения покрытий с протяженным катодом на цилиндрические поверхности
dc.contributor.advisor | Латушкина, С. Д. | ru |
dc.contributor.author | Бей, К. И. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2021-02-01T11:51:42Z | |
dc.date.available | 2021-02-01T11:51:42Z | |
dc.date.issued | 2020 | |
dc.identifier.citation | Бей, К. И. Магнетронный метод осаждения покрытий с протяженным катодом на цилиндрические поверхности / К. И. Бей ; науч. рук. С. Д. Латушкина // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (28–29 мая 2020 г.) / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 232-233. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/85249 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Магнетронный метод осаждения покрытий с протяженным катодом на цилиндрические поверхности | ru |
dc.type | Working Paper | ru |