Оборудование для ионно-плазменного напыления
dc.contributor.author | Юрчик, Р. В. | ru |
dc.contributor.author | Ковалевская, А. В. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2020-06-24T11:34:26Z | |
dc.date.available | 2020-06-24T11:34:26Z | |
dc.date.issued | 2020 | |
dc.identifier.citation | Юрчик, Р. В. Оборудование для ионно-плазменного напыления / Р. В. Юрчик, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 13-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 15−17 апреля 2020 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 362. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/74649 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Оборудование для ионно-плазменного напыления | ru |
dc.type | Working Paper | ru |