МЭМС-сенсоры давления на основе монокристаллического кремния
| dc.contributor.author | Татура, П. О. | ru |
| dc.contributor.author | Кузнецова, Т. А. | ru |
| dc.contributor.author | Лапицкая, В. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-06-24T11:33:02Z | |
| dc.date.available | 2020-06-24T11:33:02Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Татура, П. О. МЭМС-сенсоры давления на основе монокристаллического кремния / П. О. Татура, Т. А. Кузнецова, В. А. Лапицкая // Новые направления развития приборостроения : материалы 13-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 15−17 апреля 2020 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 179-180. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/74489 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | МЭМС-сенсоры давления на основе монокристаллического кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
