Технологический процесс магнетронного метода формирования тонкопленочных покрытий
| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Касперович, И. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-05-13T10:35:57Z | |
| dc.date.available | 2020-05-13T10:35:57Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Касперович, И. С. Технологический процесс магнетронного метода формирования тонкопленочных покрытий / И. С. Касперович ; науч. рук. В. М. Комаровская // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции (28–29 ноября 2019 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – Ч. 2. – С. 91-93. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/72472 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Технологический процесс магнетронного метода формирования тонкопленочных покрытий | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
