Проектирование технологической оснастки с высокочастотным вводом и планетарным механизмом для формирования вакуумных оптических покрытий

dc.contributor.author	Бельтюков, А. В.
dc.date.accessioned	2020-04-09T09:30:21Z
dc.date.available	2020-04-09T09:30:21Z
dc.date.issued	2020
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/70506
dc.subject	Реферат	ru
dc.title	Проектирование технологической оснастки с высокочастотным вводом и планетарным механизмом для формирования вакуумных оптических покрытий	ru