Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов
| dc.contributor.author | Оджаев, В. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Панфиленко, А. К. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Ковальчук, Н. С. | ru |
| dc.contributor.author | Соловьев, Я. А. | ru |
| dc.contributor.author | Филипеня, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Челядинский, А. Р. | ru |
| dc.contributor.author | Черный, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шестовский, Д. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шпаковский, С. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-01-03T09:44:13Z | |
| dc.date.available | 2020-01-03T09:44:13Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов / В. Б. Оджаев [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 345-346. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/62215 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
