Устройство для синтеза диэлектрических слоев МДП-структур
| dc.contributor.author | Сычик, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Глухманчук, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Сикорский, И. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-01-03T09:44:13Z | |
| dc.date.available | 2020-01-03T09:44:13Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Сычик, В. А. Устройство для синтеза диэлектрических слоев МДП-структур / В. А. Сычик, В. В. Глухманчук, И. В. Сикорский // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 334-335. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/62209 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Устройство для синтеза диэлектрических слоев МДП-структур | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
