Ионные источники для ионного ассистирования в вакуумно-плазменном напылении
| dc.contributor.author | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Терещук, О. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-11-15T07:03:50Z | |
| dc.date.available | 2019-11-15T07:03:50Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Комаровская, В. М. Ионные источники для ионного ассистирования в вакуумно-плазменном напылении / В. М. Комаровская, О. И. Терещук // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. – Минск : БНТУ, 2018. – Т. 4. – С. 210. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/59248 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Ионные источники для ионного ассистирования в вакуумно-плазменном напылении | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
