Алмазная паста для полирования полупроводниковых материалов

dc.contributor.author	Якубовская, С. В.
dc.contributor.author	Олехнович, О. Н.
dc.contributor.author	Бабаскина, С. Ю.
dc.contributor.author	Кузей, А. М.
dc.contributor.author	Корбит, А. А.
dc.date.accessioned	2019-10-31T12:54:43Z
dc.date.available	2019-10-31T12:54:43Z
dc.date.issued	2012
dc.identifier.citation	Алмазная паста для полирования полупроводниковых материалов : пат. 16495 Респ. Беларусь : МПК(2006.01) C09G1/02 / С. В. Якубовская [и др.] ; заявитель Белорусский национальный технический университет ; дата публ.: 2012.10.30.	ru
dc.identifier.other	16495
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/58499
dc.language.iso	ru	ru
dc.title	Алмазная паста для полирования полупроводниковых материалов	ru
dc.title.alternative	Пат. 16495 Респ. Беларусь	ru
dc.type	Patent	ru