Модификация поверхностных слоев полупроводников
| dc.contributor.author | Есман, А. К. | |
| dc.contributor.author | Зыков, Г. Л. | |
| dc.contributor.author | Потачиц, В. А. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-10-07T09:49:03Z | |
| dc.date.available | 2019-10-07T09:49:03Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Есман, А. К. Модификация поверхностных слоев полупроводников / А. К. Есман, Г. Л. Зыков, В. А. Потачиц // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 3. - С. 392. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/57627 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Модификация поверхностных слоев полупроводников | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
