Алмазная паста для полирования полупроводниковых материалов : пат. 16495 Респ. Беларусь : МПК(2006.01) C09G1/02 / С. В. Якубовская [и др.] ; заявитель Белорусский национальный технический университет ; дата публ.: 2012.10.30.